智能孔板流量計(jì)的研究與探討 四十五

4．2差壓變送器的選擇

差壓變送器選用德國SENSE公司生產(chǎn)的SDPS3單晶硅智能差壓傳感囂。SOl(Silicon—Or]～Insulator)單晶硅高溫壓力傳感器是采用硅、硅真接鍵合技術(shù)和濃硼自終止腐蝕技術(shù)相結(jié)合研制的壓力傳感器。該傳感器用單晶硅材料做應(yīng)變電阻，并以一層Sio₂薄膜將硅襯底與應(yīng)變電阻隔離，形成單晶硅結(jié)構(gòu)。其特點(diǎn)是：即利用了單晶硅的應(yīng)變因子，提高了傳感器的靈敏度；又利用了介質(zhì)隔離代替P-N結(jié)隔離，減少漏電流，提高了傳感囂的工作溫度；同時工藝上利用單晶硅的可重復(fù)性，與CMOS工藝完全兼容，易于實(shí)現(xiàn)集成化。

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